सेल्युरान्डुनिक प्रक्रियाहरूको लागि उच्च-शुद्धता ग्यास डेलिभरी प्रणालीहरूको लागि टेक्नोलोजी समाधानहरू

उच्चतलता ग्यास पाइपिंग टेक्नोलोजी उच्च पारस्रीको ग्यास आपूर्ति प्रणालीको एक महत्त्वपूर्ण हिस्सा हो, जुन प्रयोगको बिन्दुमा आवश्यक उच्च-शुद्धता ग्यास वितरण गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण प्रविधि हो; उच्च पार्थिटी ग्यास पाइनिंग टेक्नोलोजीले प्रणालीको सही डिजाइन समावेश गर्दछ, फिटिंग र उपकरण, र प्रमाणीकरण, र परीक्षणको चयन समावेश छ। हालसालैका वर्षहरूमा, ठूला-एकीकृत सर्किट सर्कुटहरूले प्रतिनिधित्व गर्ने सुस्तता क्षेत्रहरूको उत्पादनमा उच्च-शुद्धता ग्यासको उत्पादनमा बढ्दो कडा आवश्यकताहरू बढेको छ भने चिन्तित र जोड दिइएका उच्च-शुद्धता ग्यासहरूको पाइप टेक्नोलोजीमा रहेको छ। निम्नलिखित उच्च-शुद्धता ग्यास को एक संक्षिप्त सिंह को सामग्री चयन बाट pipingof निर्माण, साथै स्वीकृति र दैनिक व्यवस्थापन।

सामान्य ग्यासहरूको प्रकारहरू

इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगमा साझा ग्यासहरूको वर्गीकरण:.

सामान्य ग्यास(पाको ग्यास): हाइड्रोजन (एच)₂₎, नाइट्रोजन (एन₂), अक्सिजन (ओ)₂), अर्गोन (a₂), आदि

विशेषता ग्यासsih हो₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,एड़ल्ली,CF₄ ,NH_3,डकालो_3, Sih2₂ SICLCCL3,NH_3,  BCC_{3 ,}SIF₄ ,औंसो संणवस्थित₃ ,Co,C₂F_6, N2o,F_2,एचएफ,HBR SF₆...... आदि।

विशेष ग्यासहरूको प्रकारहरू सामान्यतया क्षतिग्रस्तको रूपमा वर्गीकृत गर्न सकिन्छग्यास, विषाक्तग्यास, ज्वलनशीलग्यास, दहनशीलग्यास, ATRTग्यास, ईत्यादि। सामान्यतया प्रयोग गरिएको सेमीन्डौन्द्रक ग्याँसहरू सामान्यतया निम्न रूपमा वर्गीकृत हुन्छन्।

(i) क्षतिग्रस्त / विषाक्तग्यास: HCC, BF₃, Wf₆, Hbr, shi₂Cl₂, Nh₃, PH₃Cl₂, BCL₃... आदि

(ii) ज्वलनताग्यास: H₂, Ch₄, Shih₄, PH₃, Ash3, Sih₂Cl₂ख₂H₆, C2F_2,गाई₃F, CO ... आदि।

(iii) दहनताग्यास: O₂Cl₂, N₂O, nf₃... आदि

(IV) ACTRTग्यास: N₂, सीएफ₄C) c₂F₆C) c₄F_8,एसएफ₆, एक₂, ने, KR, ऊ ... ईसाई।

धेरै सेमीन्डोरक्टर ग्यासहरू मानव शरीरका लागि हानिकारकहरू हुन्छन्। विशेष गरी, यी केही ग्याँसहरू, जस्तै Sih₄ सहज दहन, जब सम्म लामो एक हावा मा अक्सिजन संग हिंसात्मक प्रतिक्रिया गर्दछ र जलाउन शुरू; र एश₃अत्यधिक विषाक्त रोग, कुनै पनि हल्का चुहावटले मानव जीवनको जोखिम निम्त्याउन सक्छ, यो यी स्पष्ट खतराहरूको कारणले हो, त्यसैले प्रणाली डिजाइनको सुरक्षाको लागि आवश्यकताहरू विशेष गरी उच्च छ।

ग्यासहरूको आवेदन दायरा  

आधुनिक उद्योगको एक महत्त्वपूर्ण आधारभूत कच्चा पदार्थको रूपमा, ग्यास उत्पादनहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र धातुको उद्योग, काँचमा, निर्माण सामग्री, खाद्य प्रशोधन, औषधी र चिकित्सा क्षेत्रमा विशेष ग्याँस प्रयोग गरिन्छ। विशेष गरी यी क्षेत्रहरूको उच्च प्रविधिमा ग्यासको प्रयोगले महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ, र यसको अपरिहार्य कच्चा माल ग्यास वा प्रोसेस ग्यास हो। केवल नयाँ औद्योगिक क्षेत्रहरू र आधुनिक विज्ञान र प्रविधिको पदोन्नतिको साथ मात्र ग्यास उद्योग उत्पादनहरू विविधता, गुणवत्ता र मात्राको हिसाबले सीमानाहरू विकास गर्न सकिन्छ।

माइक्रोएक्लेक्टनिक्स र सेमीन्डुन्ड्रक्टर उद्योगमा ग्यास अनुप्रयोग

अर्धोन्डुनिक प्रक्रियामा ग्यास प्रयोगले सँधै महत्त्वपूर्ण भूमिका खेलेको छ, विशेष गरी सेमिटिटोक्टर प्रक्रिया बिभिन्न उद्योग (MOT-LCD) उत्पादनहरूको उत्पादन प्रक्रियाको रूपमा प्रयोग गर्दछ। ग्यासको शुद्धता घटक र उत्पाद उत्पादनको प्रदर्शनमा निर्णायक प्रभाव पार्छ, र ग्यास आपूर्तिको सुरक्षा कर्मीहरूको स्वास्थ्य र बोट सम्बन्धी अपरेशनको सुरक्षासँग सम्बन्धित छ।

उच्च-शुद्धता ग्यास यातायात मा उच्च-शुद्धता piping को महत्त्व

स्टेनलेस स्टील पग्लिंगको प्रक्रियामा र सामग्री बनाउने, प्रत्येक 200 ग्राम ग्यासको लागि प्रति टोन अवशोषित गर्न सकिन्छ। स्टेनलेस स्टीलको प्रशोधन गरेपछि, यसको सतह टाँसिएको विभिन्न दूषित पदार्थहरूको साथ मात्र होइन यसको धातु लाटलमा पनि एक निश्चित मात्रामा समाहित गर्दछ। जब त्यहाँ पाइपलाइन मार्फत एयरफ्लो हुन्छ, धातुले ग्यासको यस अंशलाई अवशोषित गर्दछ, शुद्ध ग्यासलाई प्रदूषित गर्दछ। जब ट्यूबमा एयरफ्लो बिच्छेद हुन्छ, ट्यूब अन्वेषणको दबाबमा ट्यूब अ Engl ्क्तिहरूले ग्यास बटुल्छन्, र जब यो ट्यूबले समाधान गर्न दबाबको ग्यास पनि प्रवेश गर्दछ। उहि समयमा, एड्सरिप्शन र रिजोलुसन दोहोर्याइएको छ, ताकि ट्यूबको भित्री सतहमा धातुले केही मात्रामा केही मात्रामा उत्पादन गर्दछ, र यो धातुको धुलो कणहरूले ट्यूब भित्र शुद्ध ग्यास पनि प्रदूषित गर्दछ। ट्यूबको यो विशेषता ढुवानी ग्यास शुद्धता सुनिश्चित गर्न आवश्यक छ, जुन ट्यूबको भित्री सतहको धेरै उच्च मैडल मात्र होइन, उच्च पोशाक पनि।

जब कडा मेहनतीको साथ ग्यास प्रयोग गरिन्छ, संक्रोश-प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टीन स्टील पाइपहरू पाइपिंगको लागि प्रयोग गर्नुपर्दछ। अन्यथा, पाइपले विरोधाभासको कारण आन्तरिक सतहमा भित्री सतहमा प्रतिरोधापन दागहरू उत्पादन गर्दछ, धातुको स्ट्रि or वा पासोमा पनि एक ठूलो क्षेत्र हुनेछ, जुन शुद्ध ग्यासलाई दूषित हुन दिन्छ, जसले वितरण गर्दछ।

उच्च-शुद्धता र उच्च-सफाई ग्यास प्रसारण र ठूलो प्रवाह दरहरूको वितरण पिपलाइन।

सिद्धान्तमा तिनीहरू सबैलाई वेडिड गरिएको छ, र प्रयोग गरिएको ट्युबहरू कुनै परिवर्तन हुन आवश्यक पर्दछ जब वेल्डरिंग लागू हुन्छ। धेरै उच्च कार्बन सामग्रीको साथ सामग्रीहरू वेल्डिड भागहरूको अवर भागको अधीनमा छन् जब वेल्डेड भागहरूको अटम्युसाइटको अधीनमा हुन्छ, जसले हाम्रो सबै प्रयासको क्षतिको विनाश गर्दछ।

सारांशमा, उच्च पार्थिटी ग्यास र विशेष ग्यास प्रसारण पाइपलाइन, उच्च-शुद्धता केन्द्रमा वितरणमा उच्च पार्ने पाइपलाइन प्रणालीको विशेष उपचार प्रयोग गर्नु आवश्यक छ (पाइपहरू फिलिप्लेन सहित)।

प्रसारण र वितरण पिपलाइनका लागि स्वच्छ प्रविधिको सामान्य अवधारणा

अत्यधिक शुद्ध र सफा ग्यास शरीरको प्रसारणको मतलब पाइनिएको छ कि त्यहाँ केही आवश्यकताहरू छन् वा ग्यासका तीन पक्षहरूको लागि ढुवानी गर्न।

ग्यासको शुद्धता: ग्यास शुद्धता मा अशुद्धता को सामग्री: ग्यास को अशुद्ध वातावरण को सामग्री, सामान्यतया ग्यास शुद्धता को एक प्रतिशत को रूप मा, पीपीबी को मात्रा को रूप मा व्यक्त।

सुख्खा: ग्यासमा ट्रेससको मात्रा, वा भिजेको कारण, वा शीतको सर्तमा प्राय: शीतको सर्तमा व्यक्त गरिएको, जस्तै वायुमण्डलीय चाप शीत पोइन्ट -70। सी

सरसफाइ: ग्यासमा समावेश प्रमित कणहरूको संख्या, μm को कण आकारको संख्या, कतिवटा कणहरू / M3 मा सम्मिलित हावाको हिसाबले व्यक्त गर्दछ, जसले तेल सामग्रीलाई समेट्छन्।

प्रदूषक आकार वर्गीकरण: प्रदूषित कणहरू, मुख्यतया पाइपलाइन शोरिंग, फोर्सलीय कणहरूले ग्राहिक कणहरू, ईभेन्टेड-फ्रेंड-कन्टेनसहित ग्यास र ओसीप्राइज ग्यास र ओसीप्राइज ग्यास र ओसिलोमा समावेश गर्दछ।

क) ठूला कणहरू - μμM भन्दा माथिको आंशिक आकार

बी) कणकोठा - मान व्यास 0.1μM-μmμμμm को बीचमा

c) अल्ट्रा-माइक्रो कणहरू - कण आकार 0.1μm भन्दा कम।

यस टेक्नोलोजीको प्रयोगलाई अभिवृद्धि गर्न कण आकार र μm एकाइहरूको अवधारणापूर्ण समझ गर्न सक्षम हुन, विशिष्ट कणको स्थिति को एक सेट सन्दर्भ को लागी प्रदान गरिएको छ

निम्नलिखित विशेष कणहरूको तुलनाको तुलना हो