सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरूको लागि उच्च-शुद्ध ग्यास वितरण प्रणालीहरूको लागि प्रविधि समाधान

उच्च शुद्धता ग्यास पाइपिङ टेक्नोलोजी उच्च-शुद्धता ग्यास आपूर्ति प्रणालीको एक महत्त्वपूर्ण भाग हो, जुन आवश्यक उच्च-शुद्धता ग्यास प्रयोगको बिन्दुमा पुर्‍याउन र अझै पनि योग्य गुणस्तर कायम राख्ने मुख्य प्रविधि हो;उच्च शुद्धता ग्यास पाइपिङ टेक्नोलोजीमा प्रणालीको सही डिजाइन, फिटिंग र सहायक उपकरणहरूको चयन, निर्माण र स्थापना, र परीक्षण समावेश छ।हालैका वर्षहरूमा, ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किटहरू द्वारा प्रतिनिधित्व गरिएको माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स उत्पादनहरूको उत्पादनमा उच्च-शुद्धता ग्यासहरूको शुद्धता र अशुद्धता सामग्रीमा बढ्दो कडा आवश्यकताहरूले उच्च-शुद्धता ग्यासहरूको पाइपिंग टेक्नोलोजीलाई बढ्दो रूपमा चिन्तित र जोड दिएको छ।निम्न सामग्री चयनबाट उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपिंगको संक्षिप्त सिंहावलोकन होof निर्माण, साथै स्वीकृति र दैनिक व्यवस्थापन।

सामान्य ग्याँस को प्रकार

इलेक्ट्रोनिक्स उद्योग मा सामान्य ग्याँस को वर्गीकरण:

सामान्य ग्यासहरू(बल्क ग्यास): हाइड्रोजन (एच₂₎, नाइट्रोजन (एन₂), अक्सिजन (ओ₂), आर्गन (ए₂), आदि।

विशेष ग्यासहरूSiH हुनुहुन्छ₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… आदि

विशेष ग्यासका प्रकारहरूलाई सामान्यतया संक्षारकको रूपमा वर्गीकृत गर्न सकिन्छग्यास, विषाक्तग्यास, ज्वलनशीलग्यास, दहनशीलग्यास, निष्क्रियग्यास, आदि। सामान्यतया प्रयोग हुने अर्धचालक ग्यासहरूलाई सामान्यतया निम्नानुसार वर्गीकृत गरिन्छ।

(i) संक्षारक / विषाक्तग्यास: HCl, BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, क्ल₂, BCl₃... आदि

(ii) ज्वलनशीलताग्यास: एच₂, CH₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, बि₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO... आदि।

(iii) दहनशीलताग्यास: ओ₂, क्ल₂, एन₂O, NF₃… आदि

(iv) निष्क्रियग्यास: एन₂, CF₄, सी₂F₆, सी₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, He... etc.

धेरै सेमीकन्डक्टर ग्याँसहरू मानव शरीरको लागि हानिकारक छन्।विशेष गरी, यी मध्ये केही ग्यासहरू, जस्तै SiH₄ स्वतःस्फूर्त दहन, जबसम्म चुहावटले हावामा अक्सिजनसँग हिंस्रक प्रतिक्रिया दिन्छ र जल्न थाल्छ;र एएसएच₃अत्यधिक विषाक्त, कुनै पनि हल्का चुहावटले मानव जीवनको जोखिम निम्त्याउन सक्छ, यो यी स्पष्ट खतराहरूको कारण हो, त्यसैले प्रणाली डिजाइनको सुरक्षाको लागि आवश्यकताहरू विशेष गरी उच्च छ।

ग्यासहरूको आवेदन दायरा  

आधुनिक उद्योगको महत्त्वपूर्ण आधारभूत कच्चा पदार्थको रूपमा, ग्यास उत्पादनहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र धातु विज्ञान, इस्पात, पेट्रोलियम, रासायनिक उद्योग, मेसिनरी, इलेक्ट्रोनिक्स, गिलास, सिरेमिक, निर्माण सामग्री, निर्माणमा ठूलो संख्यामा सामान्य ग्यास वा विशेष ग्यासहरू प्रयोग गरिन्छ। , खाद्य प्रशोधन, औषधि र चिकित्सा क्षेत्रहरू।ग्यासको प्रयोगले विशेष गरी यी क्षेत्रहरूको उच्च प्रविधिमा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ, र यसको अपरिहार्य कच्चा माल ग्यास वा प्रक्रिया ग्यास हो।विभिन्न नयाँ औद्योगिक क्षेत्र र आधुनिक विज्ञान तथा प्रविधिको आवश्यकता र प्रवद्र्धनमा मात्रै ग्यास उद्योगका उत्पादनलाई विविधता, गुणस्तर र परिमाणमा फड्को मारेर विकास गर्न सकिन्छ ।

माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स र अर्धचालक उद्योग मा ग्यास आवेदन

सेमीकन्डक्टर प्रक्रियामा ग्यासको प्रयोगले सधैं महत्त्वपूर्ण भूमिका खेलेको छ, विशेष गरी सेमीकन्डक्टर प्रक्रिया विभिन्न उद्योगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग भएको छ, परम्परागत ULSI, TFT-LCD देखि हालको माइक्रो-इलेक्ट्रो-मेकानिकल (MEMS) उद्योगहरूमा, सबै। जसले उत्पादनहरूको निर्माण प्रक्रियाको रूपमा तथाकथित अर्धचालक प्रक्रिया प्रयोग गर्दछ।ग्यासको शुद्धताले कम्पोनेन्ट र उत्पादन उत्पादनको प्रदर्शनमा निर्णायक प्रभाव पार्छ, र ग्यास आपूर्तिको सुरक्षा कर्मचारीहरूको स्वास्थ्य र प्लान्ट सञ्चालनको सुरक्षासँग सम्बन्धित छ।

उच्च शुद्धता ग्यास ढुवानीमा उच्च शुद्धता पाइपिङको महत्त्व

स्टेनलेस स्टील पग्लने र सामग्री बनाउने प्रक्रियामा, प्रति टन लगभग 200 ग्राम ग्यास अवशोषित गर्न सकिन्छ।स्टेनलेस स्टीलको प्रशोधन पछि, यसको सतह विभिन्न प्रदूषकहरूले टाँसिने मात्र होइन, तर यसको धातुको जालीमा पनि निश्चित मात्रामा ग्यास अवशोषित हुन्छ।जब पाइपलाइन मार्फत हावा प्रवाह हुन्छ, धातुले ग्यासको यो भागलाई अवशोषित गर्दछ, शुद्ध ग्यास प्रदूषित गर्दै वायुप्रवाहमा पुन: प्रवेश गर्नेछ।जब ट्यूबमा हावा प्रवाह निरन्तर प्रवाह हुन्छ, ट्यूबले दबाबमा ग्यासलाई सोस्छ, र जब वायुप्रवाह बन्द हुन्छ, ट्यूबले सोसिएको ग्यासले समाधान गर्न दबाव ड्रप बनाउँछ, र समाधान गरिएको ग्यास पनि ट्यूबमा शुद्ध ग्यासमा प्रवेश गर्दछ। अशुद्धताको रूपमा।एकै समयमा, सोखन र रिजोल्युसन दोहोर्याइएको छ, जसले गर्दा ट्यूबको भित्री सतहमा धातुले पनि निश्चित मात्रामा पाउडर उत्पादन गर्दछ, र यो धातुको धुलो कणहरूले ट्यूब भित्रको शुद्ध ग्यासलाई पनि प्रदूषित गर्दछ।ट्यूबको यो विशेषता ट्रान्सपोर्ट गरिएको ग्यासको शुद्धता सुनिश्चित गर्न आवश्यक छ, जसको लागि न केवल ट्यूबको भित्री सतहको धेरै उच्च चिल्लोपन चाहिन्छ, तर उच्च पहिरन प्रतिरोध पनि।

जब बलियो संक्षारक प्रदर्शन भएको ग्यास प्रयोग गरिन्छ, पाइपिङका लागि जंग प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइपहरू प्रयोग गर्नुपर्छ।अन्यथा, पाइपले क्षरणको कारण भित्री सतहमा जंग दागहरू उत्पादन गर्नेछ, र गम्भीर अवस्थामा, त्यहाँ धातु स्ट्रिपिङ वा पर्फोरेशनको ठूलो क्षेत्र हुनेछ, जसले वितरण गरिने शुद्ध ग्यासलाई दूषित गर्नेछ।

उच्च-शुद्धता र उच्च-सफाई ग्यास प्रसारण र ठूला प्रवाह दरहरूको वितरण पाइपलाइनहरूको जडान।

सिद्धान्तमा, ती सबै वेल्डेड छन्, र प्रयोग गरिएका ट्यूबहरूलाई वेल्डिङ लागू गर्दा संगठनमा कुनै परिवर्तन हुनु आवश्यक छैन।धेरै कार्बन सामग्री भएका सामग्रीहरू वेल्डिङ गर्दा वेल्डेड भागहरूको हावा पारगम्यताको अधीनमा हुन्छन्, जसले पाइप भित्र र बाहिर ग्यासहरूको पारस्परिक प्रवेश बनाउँछ र प्रसारित ग्यासको शुद्धता, सुक्खापन र सरसफाइलाई नष्ट गर्दछ, जसले गर्दा क्षति हुन्छ। हाम्रा सबै प्रयासहरू।

संक्षेपमा, उच्च शुद्धता ग्यास र विशेष ग्यास प्रसारण पाइपलाइनको लागि, उच्च शुद्धताको पाइपलाइन प्रणाली (पाइप, फिटिंग, भल्भ, VMB, VMP सहित) बनाउन उच्च-शुद्धताको स्टेनलेस स्टील पाइपको विशेष उपचार प्रयोग गर्न आवश्यक छ। उच्च शुद्धता ग्यास वितरण एक महत्त्वपूर्ण मिशन ओगटेको छ।

प्रसारण र वितरण पाइपलाइनहरूको लागि स्वच्छ प्रविधिको सामान्य अवधारणा

पाइपिङको साथ अत्यधिक शुद्ध र सफा ग्यास शरीर प्रसारणको अर्थ ग्यास ढुवानीका लागि तीनवटा पक्षहरूको लागि निश्चित आवश्यकताहरू वा नियन्त्रणहरू छन्।

ग्याँस शुद्धता: ग्याँस शुद्धतामा अशुद्ध वातावरणको सामग्री: ग्यासमा अशुद्धता वातावरणको सामग्री, सामान्यतया ग्यास शुद्धताको प्रतिशतको रूपमा व्यक्त गरिन्छ, जस्तै 99.9999%, अशुद्धता वातावरण सामग्री पीपीएम, पीपीबी, भोल्युम अनुपातको रूपमा पनि व्यक्त गरिन्छ। ppt

सुक्खापन: ग्यासमा ट्रेस आर्द्रताको मात्रा, वा भिसा भनिने मात्रा, सामान्यतया ओस बिन्दुको सर्तमा व्यक्त गरिन्छ, जस्तै वायुमण्डलीय दबाव ओस बिन्दु -70।सी।

सरसफाई: ग्यासमा रहेका दूषित कणहरूको सङ्ख्या, कणको आकार µm, कति कण/M3 अभिव्यक्त गर्ने, कम्प्रेस्ड हावाका लागि, सामान्यतया पनि कति mg/m3 अपरिहार्य ठोस अवशेषहरू, जसले तेल सामग्रीलाई कभर गर्दछ। ।

प्रदूषक आकार वर्गीकरण: प्रदूषक कणहरू, मुख्यतया पाइपलाइन स्काउरिङ, पहिरन, धातु कणहरू, वायुमण्डलीय कालि कणहरू, साथै सूक्ष्मजीवहरू, फेजहरू र आर्द्रता युक्त ग्यास संक्षेपण थोपाहरू, इत्यादि, यसको कण आकारको आकार अनुसार उत्पन्न हुन्छ। मा विभाजित छ

a) ठूला कणहरू - कण आकार 5μm भन्दा माथि

b) कण - 0.1μm-5μm बीचको सामग्री व्यास

c) अल्ट्रा-माइक्रो कणहरू - कण आकार 0.1μm भन्दा कम।

यस प्रविधिको प्रयोगलाई बृद्धि गर्न, कण आकार र μm एकाइहरूको अवधारणात्मक समझ गर्न सक्षम हुन, सन्दर्भको लागि विशिष्ट कण स्थितिको सेट प्रदान गरिएको छ।

निम्न विशिष्ट कणहरूको तुलना हो