अर्धोन्डरकक्टर बजार बढ्दै जाँदा शुद्धता र सटीकताका लागि मानकहरू अधिक कडा हुन्छन्। सेमिट्युन्डॉक्टर निर्माणको गुणस्तरका एक निर्धारित कारकहरू मध्ये एक प्रक्रियामा प्रयोग ग्यास हो। यी ग्याँसहरूले निर्माण प्रक्रियामा धेरै भूमिका खेल्छन्, समावेश छन्:
सटीक प्रक्रिया नियन्त्रण
दूषित रोकावट
धातुको सम्पत्ति बढावा
प्रभावकारी रूपमा यी भूमिकाहरू प्रदर्शन गर्न, ग्यास आपूर्ति र वितरण प्रणाली कुशल हुनुपर्दछ। सेमीन्डुनिक निर्माणमा प्रयोग गरिएको ग्यास ह्यान्डलिंग प्रणालीहरूको डिजाइन र अर्ध मन्टोक्टरहरूको भरपर्दो र उच्च गुणवत्ता उत्पादन सुनिश्चित गर्न अनुकूलित व्यक्तित्वहरू प्रदान गर्नुपर्दछ।
ग्यासहरू अर्धन्डुनिक निर्माणमा प्रयोग गरियो
अर्धवान्डैक्शनरको निर्माण प्रक्रियालाई प्रक्रियाको विभिन्न चरणहरूमा विभिन्न ग्यासहरूको प्रयोग आवश्यक छ।
जबकि नाइट्रोजन, हाइड्रोजन, अर्गोन र हेलोयम जस्ता सामान्य ग्यासहरू तिनीहरूको शुद्ध रूप मा प्रयोग गर्न सकिन्छ, केहि प्रक्रियाहरू विशेष मिश्रण आवश्यक हुन सक्छ। सिलास वा सिलोक्सानेन्स, हेक्साफल्इड्स, बिलाइने र हाइड्रोकार्बनहरू अर्धडीणकर्मी निर्माणमा प्रयोग गरिने विशेषता ग्यासहरू हुन्। यी ग्यासहरूमध्ये धेरैलाई खतरनाक वा अत्यधिक प्रतिक्रियावाला हुन सक्छ, ग्यास प्रणालीहरूको लागि कम्पनीहरूको चयन र डिजाइनमा चुनौतीहरू सिर्जना गर्दछ।
यहाँ केहि उदाहरणहरू छन्:
\ हाइड्रोजन र हेलोयमले सजिलैसँग पाइपिंग र फिटिंग प्रणालीबाट चुहिन सक्छ उनीहरूको सानो परमाणु आकार र तौलका कारण।
\ SILANES धेरै ज्वलनशील छन् र सहज रूपमा दहन (Atolignite) हावामा।
\ नाइट्रोजन विकृत विकृत, ईचिंग र कक्ष सफाई चरणहरू एक शक्तिशाली ग्रीनहाउस ग्यास बन्छ जब वातावरणमा चुहावट हुन्छ।
\ हाइड्रोजन फ्लोरारोड (ECCHing ग्यास) धातु पाइंगमा अत्यधिक क्षतिपूर्ति हो।
\ ट्राइपेलिगइल र अमोनिया ह्यान्डल गर्न गाह्रो हुन सक्छ - उनीहरूको तापमानमा साना उतार चढावहरूले बयान प्रक्रियालाई असर गर्न सक्छ।
प्रक्रिया सर्तहरू नियन्त्रण गर्ने प्रक्रिया सर्तहरू यस ग्यासको नकरात्मक प्रभाव कम गर्न प्रणाली डिजाइनको क्रममा शीर्ष प्राथमिकता हुनुपर्दछ। यो निर्माण प्रक्रियाको क्रममा एएफसी डायाफ्राम फलाम जस्ता उच्च गुणस्तरीय कम्पोनेन्टहरू प्रयोग गर्न समान रूपमा महत्त्वपूर्ण छ।
प्रणाली डिजाइन चुनौतीहरू सम्बोधन गर्दै
अर्धोन्डरकय ग्रेड ग्यासहरू उच्च शुद्धताको धेरै जसो केसहरूमा छन् र निर्माण सर्तहरू प्रदान गर्छन् वा उत्पादन प्रक्रियाको विभिन्न चरणहरूमा प्रतिक्रिया बढाउँछन्, जस्तै ETCH र बलायक ग्याँसहरू। चुहावट वा त्यस्ता ग्यासहरूको प्रदूषणले नकारात्मक प्रभावहरू हुन सक्छ। तसर्थ, यो प्रणाली कम्पोनेन्टहरूको लागि होमेटिक रूपमा छाप लगाइएको छ र संक्रादायिकता प्रतिरोधी र संरोफिक प्रतिरोधीहरूको लागि पनि एक सहज सतहको सदन (इलेक्ट्रोल्टिक पॉेटिशिंग) छ कि त्यहाँ अत्यधिक उच्च स्तरको औचित्य कायम गर्न सकिन्छ।
थप रूपमा, यी ग्यासहरू मध्ये केही तटरी वा इच्छित प्रक्रिया सर्तहरू प्राप्त गर्न कर्नल गर्न सकिन्छ। राम्रो इन्स्कुलेटेड कम्पोनेन्टहरूले तापमान नियन्त्रण सुनिश्चित गर्दछन्, जुन अन्तिम उत्पादनको कुशल प्रदर्शनको लागि महत्वपूर्ण छ।
स्रोत इनलेटबाट प्रयोगको बिन्दुमा, अफेको विस्तृत दायरामा अल्ट्रा-उच्च शुद्धता, तापमान, दबाब, दबाब र बहाव नियन्त्रण आवश्यक छ, दबाब र भ्याकुम कक्षहरूमा।
अर्धवान्डुनिक फोटोहरूमा गुणस्तरीय कम्पोनेन्टहरूसँग डिजाइन प्रणाली
गुणस्तर क्षेत्रीय क्षेत्रीय र डिजाइन अनुकूलनको भूमिका अर्ध मजदुरहरूको सटीक नियन्त्रण र सुरक्षित निर्माणको लागि महत्वपूर्ण छ। कम्पोनेन्टहरू प्रयोगशाला र चुहावट हुनु आवश्यक छ र चुहावट अवस्थाहरू मिलाउन आवश्यक छ।
अल्ट्रा-उच्च शुद्धता
चुहावट मुक्त छापहरू
तापमान अभिनय इन्सुलेशन
दबाब नियन्त्रण
प्रतिरोधादारी प्रतिरोध
इलेक्ट्रोलीली पोलिसिंग उपचार उपचार
पोष्ट समय: अक्टुबर-0 -2-20223