सेल्टिन्डुन्डोर उद्योगमा ग्यास वितरण प्रणालीको निर्माण

अर्धोन्डरकन बनावटमा, ग्याँसहरू सबै काम गर्छन् र लेजरहरू सबै ध्यान लिन्छन्। जब लाजरहरूले सिलिकजनमा एन्च ट्रान्जिटर बान्कीहरू, ईन्चले सिलिकन जम्मा गरे र पूर्ण सर्किटहरू बनाउनको लागि लेजरलाई ग्यासहरूको श्रृंखला हो। यो ग्याँजुहरू कुनै आश्चर्यको कुरा होइन कि बहु-चरण प्रक्रियाबाट माइक्रोयुर्चुवालहरू विकास गर्न प्रयोग गरिन्छ, उच्च शुद्धताको हो। यो सीमितताको अतिरिक्त, ती मध्ये धेरैले अन्य चिन्ता र सीमितताहरू छन्। केहि ग्याँसहरू क्रोॉजेक्टिक छन्, अरुहरु कोष्ठक छन्, र अझै अरु धेरै विषाक्त हुन्छन्।

सबै सबैमा, यी सीमितताहरूले अर्धन्डोक्टर उद्योगका लागि पर्याप्त ग्यास वितरण प्रणालीहरू बनाउँछन्। भौतिक विवरणहरू माग गरिरहेका छन्। भौतिक विवरणका साथै ग्यास वितरण एर्रे जटिल इलेक्ट्रोकमेमलोमकल एर्रेनकीय एर्रेरे। वातावरण जहाँ तिनीहरू भेला हुन्छन् जटिल र ओभरल्यापि। अन्तिम किराना स्थापना प्रक्रियाको एक भागको रूपमा साइटमा हुन्छ। Orbrital सैनिकले ग्यास वितरण आवश्यकताहरूको उच्च विवरणहरू पूरा गर्न मद्दत गर्दछ जबकि कडा, चुनौतीपूर्ण वातावरणमा अधिक व्यवस्थित बनाउँदछ।

कसरी सेईन्डन्डुन्डरकय उद्योगले ग्यास प्रयोग गर्दछ

ग्यास वितरण प्रणालीको निर्माण योजना बनाउने प्रयास गर्नु अघि, कम्तिमा अर्धवान्डक निर्माणको आधारभूत कुरा बुझ्न आवश्यक छ। यसको मूलमा, अर्धवान्डरहरूले अत्यधिक नियन्त्रणित तरीकामा सतहमा नि: शुल्क-एलिमेन्टल ठोस निक्षेप गर्न ग्यासहरू प्रयोग गर्छन्। यी जम्मा गरेको ठोस ठोस ठोसहरू थप ग्यासहरू, लेजर, रसायनिक इटेक र गर्मी प्रस्तुत गरेर परिमार्जन गरिन्छ। फराकिलो प्रक्रियामा चरणहरू:

डिलसन: यो प्रारम्भिक सिलिकन वेफर सिर्जना गर्ने प्रक्रिया हो। सिलिकन प्रिरासर ग्याँसहरू भ्याकुम जम्मा गर्ने कोठामा पम्प गरिन्छ र पातलो सिलिकन वासायनिक अन्तर्क्रियाको माध्यमबाट।

फोटोलिथ्रोग्राफी: फोटो खण्डले लेजरहरू बुझाउँदछ। उच्च चरम अल्फ्राभाइयोभनिबोग्राफी (ईसु) स्पेक्ट्रम (EUV) स्पेक्ट्रम प्रयोग गर्नाले प्रयोग गर्थे, कार्बन डाइअक्साइड लेजरले वेफरमा माइक्रोभेडर सर्किटरमा मिल्यो।

Ecching: ECCHING प्रक्रियाको बखत हलग्न-कार्बन ग्यासले चोरन सबमिटरमा चयन गरिएका सामग्रीहरू सक्रिय गर्न र विघटन गर्न चेम्बरमा फ्याँकिन्छ। यो प्रक्रिया प्रभावकारी रूपमा सब्सट्रेटमा लेजर-मुद्रित सर्कुल एन्ट्रीमा संलग्न छ।

डोपिंग: यो एक अतिरिक्त चरण हो जुन अर्धविरोधाक्टर सञ्चालन अन्तर्गत ठ्याक्कै सतहको संचालन परिवर्तन गर्दछ।

अभिननिंग: यस प्रक्रियामा, युद्धर तह बीचको प्रतिक्रियाहरू उन्नत दबाब र तापक्रमले ट्रिगर गरिन्छ। मूलतः यसले अघिल्लो प्रक्रियाको नतीजाहरूलाई ध्वंश पार्छ र वेफरमा अन्तिम प्रोसेजरको सिर्जना गर्दछ।

कोठा सफाई र लाइन सफाई: अघिल्लो चरणहरूमा प्रयोग गरिएको ग्याँसहरू, विशेष गरी epping र doping, प्राय: अत्यधिक विषाक्त र प्रतिक्रियाशील हुन्छन्। तसर्थ, प्रक्रिया कोठा र ग्यास रेखाले खुवाउने काम खुवाउने वा हानिकारक वातावरणको ग्याँजुहरू रोक्नका लागि असंख्य ग्याँसहरूले भरिएका ग्याँसहरूले भरिनु आवश्यक छ।

सेमिडन्डुनिक उद्योगमा ग्यास वितरण प्रणालीहरू प्रायः जटिल हुन्छन् र ग्यास प्रवाहको कडा नियन्त्रण, तापमान र दबाव दिनको साथ कायम गर्नुपर्दछ। प्रक्रियामा प्रत्येक ग्यासका लागि अल्ट्रा-उच्च शुद्धता द्वारा थप जटिल छ। अघिल्लो चरणमा प्रयोग भएका ग्याँसहरू लाइनहरू र चेम्बरहरूबाट फ्लश गर्नुपर्दछ वा अन्यथा प्रक्रियाको अर्को चरण अघि तटस्थ भएर हुन सक्दछ। यसको मतलब यो हो कि त्यहाँ एक ठूलो रेखा को एक ठूलो संख्या, वेल्डिड ट्यूब सिस्टम र हीज, प्राकृतिक ग्यास आपूर्ति को पाइपलाइन दूषित को दूरी बीचको डिफेन्स र सेल प्रणालीहरु बीच इन्टरफेस, र Culteret प्रणालीहरु

थप रूपमा, सफारूम बाहिर निकालिएका र विशेषता ग्यासहरू सफारूक वातावरण वातावरणमा बल्क ग्यास आपूर्ति प्रणालीको साथ सुसज्जित हुनेछन् र दुर्घटनाग्रस्त चुहावटको घटनामा कुनै पनि जोखिम घटाउनका लागि विशेष सीमित क्षेत्रहरू। यस्तो जटिल वातावरणमा यी ग्यास प्रणालीहरूमा वेल्डिंग सजिलो काम छैन। जहाँसम्म, हेरचाह, विस्तृत र सही उपकरणहरूमा ध्यान संग, यो कार्य सफलतापूर्वक पूरा गर्न सकिन्छ।

अर्धन्डोॉक्टर उद्योगमा ग्यास वितरण प्रणालीहरू निर्माण गर्दै

सेल्मन्डुनिक ग्यास वितरण प्रणालीमा प्रयोग गरिने सामग्रीहरू अत्यधिक चर छन्। तिनीहरूले PTFE-LEDEND धातु पाइपहरू र उच्च क्षतिग्रस्त ग्यासहरूको प्रतिरोध गर्नको लागि चीजहरू समावेश गर्न सक्दछन्। सेमीन्डुड्युक्टर्टीय उद्योगमा पूरा उद्देश्यका लागि प्रयोग गरिएको सबै भन्दा सामान्य सामग्री 316l स्टेनस्कूल स्टील छ - कम कार्बन स्टेनलेस स्टील भेरियन्ट। जब यो 316l 7l 616, 3166l incrogugumancumancular कर्बॉय प्रतिरोधी हुन्छ। यो एक महत्त्वपूर्ण प्रतिक्रियाशील र सम्भावित अस्थिर ग्याँसको दायरासँग व्यवहार गर्दा एउटा महत्त्वपूर्ण विचार हो जुन कार्बनलाई करोड गर्न सक्दछ। Wewning 316l स्टेनलेस स्टीलले कम कार्बन प्रिसिप्स रिलीज गर्दछ। यसले अन्नको सीमाको क्षरणको सम्भावना पनि कम गर्दछ, जसले वेल्डहरू र गर्मी प्रभावित क्षेत्रहरूमा पिट्ने कोरोलोट गर्न सक्दछ।

सेक्वान ढाँचा र चर्को ढाल र टंगस्टन ग्यासका साथ 3116 31.0.0.0.0.0.0.0.0.0.0.0.0.0.0.0.1.3l stuness स्टीललाई अर्थात् 3116 316 31.0.0.0.0.0.0.0.0.0.161.0.0.0.0.161.0.0.1616l स्टेनल स्टील सेमीन्डुड्रस्ट्रस्टर्मिटरको साथ मानक हो। केवल वेल्डिंग प्रक्रिया जसले प्रक्रिया पाइपमा उच्च शुद्धता वातावरण कायम गर्न नियन्त्रण प्रदान गर्दछ। स्वचालित ओर्बिटल वेबिंग मात्र अर्धोन्डुनिक ग्यास वितरणमा उपलब्ध छ