सेल्टिन्डुन्डरक उद्योगमा ग्यास उद्योग

अर्धवाण्ड उद्योगमा ग्यासहरूको प्रयोग 1 19's0 को दशकको शुरुमा 1 60 .0 को दशकको शुरुआतका मितिहरूमा फर्किन्छ। सेईमिकन्डुड्रक्रिप्ट प्रक्रियाको क्रममा, ग्याँसहरू मुख्यतलता र सुरक्षा सामग्रीहरू सफा र संरक्षण गर्न प्रयोग गरिन्छ उनीहरूको शुद्धता र गुणवत्ता सुनिश्चित गर्न प्रयोग गरिन्छ। प्राय: प्रयोग गरिएका ग्याँसहरू मध्ये निइट्रोजन र हाइड्रोजन हुन्।

अर्धडी टेक्नोलोजी विकसित र निर्माण प्रक्रियाहरू सुधार गर्न जारी राखिरहेका ग्याँसहरूको माग बढ्यो। सन् 1 1970 .0 मा अर्धकोरक निर्माण टेक्नोलोजीको विकास, मुख्य क्षेत्रहरूमा ग्याँस र पातलो फाइलको बजे (उदाहरणका लागि एसएफ change) र अक्सिजन प्रायः ईच्चिंग र जम्मा ग्याँजुहरू प्रयोग गरियो। 1 1980 .0 मा एकीकृत सर्किटहरू विकास र उनीहरूको माग बढेकोमा बढेको ग्यासहरूको लागि ग्यासहरूको लागि ग्यासहरूमा जोडे। हाइड्रोजन फराकिलो प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको थियो, हाइड्रोजन एनिनेलि and र हाइड्रोजन वाफोर जम्मा सहित। र 1 1990 1990 0 सम्म हालसम्म उच्च-शुद्धता ग्यासको लागि माग र विशिष्ट ग्याँस बढेको छ जति विशिष्ट ग्याँस बढेको छ किनकि सेमीकन्डुनिक उपकरणहरू आकारहरू संकुचन र नयाँ प्रक्रियाहरू प्रस्तुत गरिएको छ। उदाहरण को लागी, चरम अल्ट्राभाइनिओनिओग्राफको अनुप्रयोग (EUV) को आवरण (EUV) को आवरण आवश्यक छ जस्तै निइट्रोजन र हाइड्रोजन

अर्धन्डुड्रक्टर ग्यास अधिक र अधिक उत्पादनहरू द्वारा संचालित सम्बन्धित उत्पादनहरूको विकासका साथ बढ्दो छ, जबकि ग्यास विस्थापन, ग्यास दबाब उत्पादहरू, ग्यास ड्रप डिस्पोक्टरहरू देखा पर्यो, र तिनीहरूका भूमिकाहरू निम्नानुसार छन्।

दबाव नियामकहरु: दबाव नियामकहरू ग्यास दबाव नियन्त्रण गर्न प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरू प्राय: एक नियामक भल्भ र एक दबाव सेन्सर हुन्छन्। दबाव नियामकहरूले उच्च दबाव ग्यास इनपुट लिन्छन् र खाद्यान्न ग्यासको दबाबलाई विशेष आवेदन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ। क्षेत्र, निर्माण, निर्माण र प्रयोगशालाहरू साथै अर्धवितिक उद्योगमा पनि प्रयोग गरिएको छ जरुरीहरू जस्ता क्षेत्रहरूमा साथै अर्धवितिक उद्योग, अन्यहरू ग्यास आपूर्तिको स्थिरता र सुरक्षा सुनिश्चित गर्न प्रयोग गरिन्छ।

ग्यास भ्रष्टालहरू: ग्यास भरणहरू ग्यासहरूको प्रवाह नियन्त्रण गर्न र ग्यास खण्डहरू बन्द गर्न प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरूसँग प्राय: एक / अफ समारोह हुन्छ जुन खुल्ला वा ग्यास प्रवाह खुल्छ वा बन्द गर्दछ। म्यानुअल भल्भ, इलेक्ट्रिक भग्नावशक्ति र चतुर भल्भहरू सहित विभिन्न प्रकारका ग्यासहरू छन्। तिनीहरू ग्यास प्रणालीहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरीन्छन् ग्यासहरूको बहाव र ग्यासहरूको प्रवाह दर।

ग्यास दबाव दर: ग्यास दबाव ग्यास ग्यास को दबाव स्तर मापन गर्न को लागी प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरू प्राय: ग्यास प्रणालीहरूमा द्रुत स्थानहरूमा दबाब परिवर्तनहरू अनुगमन गर्न ग्यास प्रणालीहरूमा स्थापित हुन्छन् र निश्चित रूपमा उनीहरू सुरक्षित सीमा भित्र छन्। ग्यास दबाव गवेजहरू उद्योगमा उद्योग, निर्माण र प्रयोगशालाहरू, र सेमित्व उद्योग पनि संलग्न भएको छ।

ग्यास चुहावट डिटेक्टरहरू: ग्यास चुहावट डिसेक्टरहरू ग्यास प्रणालीहरूमा चुहावट पत्ता लगाउन प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरूले पत्ता लगाउँथेग्यास चुहावटको उपस्थिति र एक अलार्मको उपस्थिति ताकि चुहावट दुर्घटनाबाट रोक्न समयमै कार्यवाही गर्न सकिन्छ। ग्यास चुहावट डिटेक्टरहरू औद्योगिक, रासायनिक, तेल र ग्यास अनुप्रयोगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरीन्छ, र अर्धोन्डरकर्ता उद्योग पनि संलग्न भएको छ।